一、設(shè)備概況1.1應(yīng)用領(lǐng)域：單片清洗甩干機(jī)是高潔凈度清洗甩干設(shè)備,具有高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實(shí)現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，體型小運(yùn)行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低，快速應(yīng)用生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。1.2名稱：單片清洗甩干機(jī)1.3型號(hào)：QSG-150二、主要結(jié)構(gòu)特征單片清洗甩干機(jī)主要伺服電機(jī)，PLC控制器，
一、設(shè)備概況
1.1應(yīng)用領(lǐng)域：單片清洗甩干機(jī)是高潔凈度清洗甩干設(shè)備, 具有高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實(shí)現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，體型小運(yùn)行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低，快速應(yīng)用生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。
1.2名稱：單片清洗甩干機(jī)
1.3型號(hào)：QSG-150
二、主要結(jié)構(gòu)特征
單片清洗甩干機(jī)主要伺服電機(jī)，PLC控制器，人機(jī)界面，高潔凈閥門，PFA管，氮?dú)饧訜崞鳎栏g外殼，以及甩干頭等部分組成。
2.1材質(zhì)：進(jìn)口PP板，能夠滿足潔凈室工作環(huán)境。
2.2專用伺服電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)每分鐘10-3000轉(zhuǎn)，低速均勻清洗，高速離心甩干。
2.3工業(yè)PLC控制器和人機(jī)界面，穩(wěn)定可靠控制各個(gè)部件，直觀可視化操作模式。
2.4大功率氮?dú)饧訜崞?，快速加熱氮?dú)?，提高烘干效率?/span>
2.5甩干頭詳情 可根據(jù)客戶需要定制適用不同規(guī)格尺寸的甩干頭
三、主要技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 主要性能指標(biāo)和參數(shù) |
加工硅片尺寸 | 2-8 英寸圓片 |
單次甩干數(shù)量 | 1片 |
工位數(shù)量（個(gè)） | 1 |
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN | 10-3000 |
清洗甩干時(shí)間 | 2-5min |
腔室及氮?dú)饧訜岱绞?/span> | 電加熱器 |
氮?dú)鈮毫?/span> | 0.25Mpa，氮?dú)夤芙涌?/span>6mm |
純水壓力 | 0.15Mpa， 管接口6mm |
排水管 | 12mm卡套接頭 |
控制系統(tǒng) | PLC可編程控制器 |
顯示 | 4.3寸觸摸屏 |
電源 | 220V |
整機(jī)功率 | 2KW |
外型尺寸（深*寬*高）mm | 長365mm*寬300mm*高535mm |
