1. 產(chǎn)品概述：

防腐型晶圓真空吸筆是用于半導(dǎo)體、微電子行業(yè)，用于吸取和搬運(yùn)晶圓的工具。它具備防靜電、耐高溫、耐酸堿的特性，適用于2"至12"晶圓的吸取。

2. 應(yīng)用領(lǐng)域：

該工具專為晶圓制造及芯片生產(chǎn)流程中的濕法清洗階段而設(shè)計(jì)，具備在腐蝕性化學(xué)藥液中安全、精準(zhǔn)地取放晶圓及芯片的能力。

3. 技術(shù)參數(shù)：

品牌與型號：

品牌： CSMHK

型號： VSP-PTW-2

適用尺寸：2寸3寸

材質(zhì)

吸筆頭： PEEK（聚醚醚酮），具有耐高溫、耐化學(xué)腐蝕、低摩擦系數(shù)和優(yōu)異的電氣性能。

中間連接桿：鈦管

筆身： 鐵氟龍材質(zhì)，防靜電設(shè)計(jì)。

真空度：長壽命耐腐蝕PTFE隔膜電動泵： 提供-10pa—-50pa真空度。

真空端口： 集成了可更換的入口過濾器，保護(hù)工具免受灰塵顆粒的影響。

換氣閥：長壽命耐腐蝕PTFE電磁閥。

釋放泵：長壽命耐腐蝕PTFE隔膜電動泵： 提供10pa—50pa正壓釋放氣。

操作方式：

按鈕式操作： 真空常開，按下按鈕釋放晶圓。

腳踏式操作： 通過按下腳踏開關(guān)來吸取晶圓，松開腳踏后關(guān)閉真空并釋放晶片。

防靜電性能： 符合ESD防靜電安全要求，適用于Class 100潔凈室等級。

吸力/釋放力調(diào)節(jié)：

可調(diào)式耐腐蝕電動泵： 通過旋鈕調(diào)整吸力/釋放力大小，以適應(yīng)不同厚度和脆弱度的晶圓。

4. 產(chǎn)品特性：

高純度： 不含有鹵族元素，對半導(dǎo)體材料無污染。

耐高溫： 吸筆頭可以瞬間加溫至300攝氏度，持續(xù)加溫至250攝氏度。

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)： 便捷的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，手動真空吸筆，拾取電子零件及小產(chǎn)品特別方便、簡單。

吸力強(qiáng)勁： 體積小，吸力強(qiáng)，移動快速輕便。

保護(hù)產(chǎn)品表面： 不會污染產(chǎn)品表面。

5. 配件與選件：

吸筆頭： 提供多種尺寸的PEEK吸筆頭，包括VSP-PT-02（2寸）、VSP-PT-04（4寸）、VSP-PT-03（3寸）、VSP-PT-06（6寸）、VSP-PT-08（8寸）、VSP-PT-12（12寸），其他特殊尺寸可定制。

氣管： 提供1/4英寸或6mm外徑的氣管，確保氣流通暢。